Simulation de capteurs MEMS par éléments finis

Open Silicium n° 019 | juillet 2016 | Laurent Delmas
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La miniaturisation des composants électroniques permet d'intégrer dans un seul et même composant plusieurs fonctions avancées issues de différents capteurs. Par exemple, dans nos smartphones où se trouvent des accéléromètres, gyroscopes, magnétomètres, capteurs de proximité, capteurs de température... Cette évolution technologique associée à une connectivité toujours croissante a conduit à l'avènement de l'Internet des Objets (IoT). De par leur complexité, ces différents capteurs souvent multiphysiques requièrent lors de leur conception des simulations numériques complexes. Il existe plusieurs logiciels open source permettant de réaliser ce type de simulation. Dans cet article, vous allez apprendre à utiliser FreeFem++ pour effectuer ces simulations par éléments finis.

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